La serie E-UMS130-X adotta un binario di guida a rulli incrociati ad alta precisione con funzione anti-creep, coopera con il motore lineare e la scala a reticolo ad alta risoluzione e presenta i vantaggi di dimensioni ridotte, carico elevato e bassa rumorosità.La guida a rulli incrociati anti-creep è particolarmente adatta per applicazioni che richiedono una corsa a passo fine, con.
Il sistema di controllo dell'azionamento ad alte prestazioni può uscire stabilmente con una dimensione del passo di 10 nm, che è una prestazione importante che è difficile da garantire per le normali piattaforme di motori lineari con guida lineare.Pertanto, la serie UMS130-X è particolarmente adatta per scenari applicativi di posizionamento, rilevamento, esposizione e microelaborazione ad alta precisione.
● Motore ad azionamento diretto senza contatto, altissima precisione ed eccellenti prestazioni dinamiche;
● Motore senza ferro, la fluttuazione della velocità è inferiore a un millesimo (combinata con il tipo specificato di azionamento, dati di test dell'ambiente di laboratorio);
● Guide silenziose e anti-strisciamento per garantire il controllo dei micropassi;
● Lunga durata, utilizzo senza manutenzione per lungo tempo;
È possibile scegliere tra encoder incrementali economici, encoder incrementali di classe metrologica ed encoder di misura assoluti (non è richiesta alcuna referenziazione all'accensione).Poiché la posizione lineare del tavolino viene misurata direttamente sulla piattaforma mobile rispetto alla base fissa, senza contatto (metrologia diretta), gioco, gioco meccanico o deformazione nella trasmissione, comuni con le combinazioni motore/vite, non hanno alcuna influenza sulla precisione della posizione .
Nelle guide a rulli incrociati, il punto di contatto delle sfere nelle guide a sfere viene sostituito dal contatto lineare dei rulli temprati.Di conseguenza, sono notevolmente più rigide e richiedono meno precarico, il che riduce l'attrito e consente un funzionamento più fluido.Le guide a rulli incrociati si distinguono anche per l'elevata precisione di guida e capacità di carico.Le gabbie dei corpi volventi a guida forzata impediscono lo scorrimento della gabbia.
Sono possibili combinazioni di tavolini a 2 e 3 assi.Le tavole XY possono essere costruite sovrapponendo due tavole ad asse singolo, mentre un asse Z personalizzato con compensazione della forza peso può essere utilizzato per le combinazioni di tavole di traslazione XYZ.Un'altra opzione per l'asse Z è il tavolino lineare verticale molto compatto UMS130-X con contrappeso magnetico integrato regolabile dall'utente.
Industria e ricerca.Metrologia.Fotonica e scansione di precisione nella produzione di semiconduttori o schermi piatti.
Specifica | UMS130-60X | -110X | -160X |
Tipo di motore | Motore ironless trifase | ||
Tipo di codificatore | Encoder incrementale 0.1um (opzionale fino a 1nm encoder, opzionale assoluto) | ||
Spinta del motore | Nominale 40N Picco 90N | ||
Accelerazione (senza carico) | 3G | 2,5 G | 2G |
Tipo di limitazione di posizione | Meccanica, fotoelettrica, software (tripla protezione limite) | ||
Materiale | Lega di alluminio 6061-T6 (acciaio inossidabile opzionale) | ||
Corsa mm | 60 | 110 | 160 |
Precisione ehm | ±3um(Calibrazione ±0.5um) | ||
Ripetibilità Precisione um | ±0.1um(±50nm corrisponde a reticolo superiore a 5nm) | ||
Velocità massima mm/sec | 300 mm/sec | ||
Portata massima kg | 6 | 8 | 12 |
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