E-EC-ABL-X Tavole lineari di precisione flottanti ad aria unidimensionali

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E-EC-ABL-X Tavole lineari di precisione flottanti ad aria unidimensionali

Breve descrizione:

La piattaforma del motore lineare della serie E-EC-ABL-X adotta il metodo del binario di guida con cuscinetti ad aria combinato con il motore lineare con anima in ferro, che ha rettilineità e planarità ineguagliate dai tradizionali binari di guida meccanici ed è particolarmente adatto per piccole distanze di passo o ultra- scenari applicativi di posizionamento preciso.È un'eccellente scelta applicativa per il debug, l'installazione e l'elaborazione ottica di precisione.

● La guida lineare con cuscinetti ad aria ha un'ottima planarità e rettilineità

● Il motore lineare con nucleo in ferro garantisce una sufficiente rigidità del sistema e prestazioni dinamiche

● Funzionamento silenzioso e stabile con rumore estremamente basso

● Ha un livello molto elevato di prestazioni di precisione

● Ideale per applicazioni di scansione o posizionamento ad alta precisione

● Compatibile con camere bianche

● Dimensioni della piattaforma mobile 210 mm × 100 mm

● Intervalli di corsa da 200 mm a 500 mm

● Risoluzione a 100 nm o 1 nm


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Panoramica del Prodotto

E-EC-ABL-X Stadio di movimento flottante ad aria unidimensionale1 (1)

Gli stadi sono dotati di un motore lineare servoazionato con cuscinetti ad aria precaricati ed encoder lineare integrato.La combinazione di questi componenti senza contatto si traduce in una piattaforma di movimento senza attrito che offre le massime prestazioni, qualità e durata.

Un motore lineare ad alta forza può portare il palco alla velocità massima in pochi millisecondi e i cuscinetti ad alta capacità possono supportare carichi utili fino a 10 kg.Il design del cuscinetto d'aria precaricato lateralmente opposto in questo modello consente il montaggio in qualsiasi orientamento.

Accessori e opzioni

● Codificatore;

● Kit filtri e preparazione aria;

● Motion controller singolo e multiasse;

● Opzione di blocco/sblocco pneumatico;

● Setup XY e configurazioni individuali;

● Varianti di tracciato cavi;

● Opzioni con contrappeso per orientamento verticale (Z);

● Personalizzazioni disponibili;

● Piastre di base in granito e sistemi per l'attenuazione delle vibrazioni;

Campi di applicazione

E-EC-ABL-X Stadio di movimento flottante ad aria unidimensionale1 (2)

I sistemi di posizionamento sono ideali per molte applicazioni di alta precisione come la metrologia, la fotonica e la scansione di precisione nella produzione di semiconduttori o schermi piatti.

Grazie al movimento privo di attrito, non si formano particelle, il che rende i tavoli ideali per le applicazioni in camera bianca.


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  • Specifica EC-ABL-200 -300 -400 -500
    Tipo di motore Motore lineare con anima in ferro
    Opticval Encode risoluzione Predefinito 0,1um (analogico opzionale, fino a 1nm)
    Spinta del motore Continuo 90N/picco 190N
    Accelerazione (senza carico) 5G
    Corsa [mm] 100 200 300 400
    Ripetibilità Accuratezza [um] ≤±0.2um (se reticolo 5nm opzionale, fino a ±50nm)
    Precisione [um] 2um/100mm (meno di 0,5um/100mm dopo la calibrazione)
    Planarità [um] ≤±0,4 ≤±0,5 ≤±0,7 ≤±0,8
    Rettilineità [um] ≤±0,5
    Velocità massima [mm/s] 1000 (a seconda dell'azionamento e della corsa)
    Portata massima [kg] 10kg

    E-CE-ABL-X

     

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